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閩旋科技產(chǎn)品推介‖單晶爐用冷卻水旋轉(zhuǎn)接頭 |
| 發(fā)布日期: 2023-08-01 瀏覽次數(shù): 1891 新聞編輯: |
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半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料，其中硅作為半導(dǎo)體材料中用量最大和用途最廣的材料。在半導(dǎo)體芯片中，單晶硅材料占據(jù)了整個(gè)芯片體積的約99%，其生產(chǎn)技術(shù)和產(chǎn)量體現(xiàn)了一個(gè)國(guó)家在半導(dǎo)體行業(yè)中的發(fā)展水平。同時(shí)隨著光伏行業(yè)的迅猛發(fā)展，單晶硅又被用來制作太陽能電池，逐漸取代多晶硅的行業(yè)占比。以此，市場(chǎng)對(duì)單晶硅的品質(zhì)和長(zhǎng)晶裝備穩(wěn)定性的要求也越來越高。
單晶爐作為一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,然后用直拉法生長(zhǎng)無錯(cuò)位單晶的專用冶煉設(shè)備，是目前人工單晶硅生長(zhǎng)設(shè)備中很重要的產(chǎn)品系列。其結(jié)構(gòu)如上圖所示，主要由主機(jī)（包括爐體、籽晶旋轉(zhuǎn)提升機(jī)構(gòu)、坩堝軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)）以及抽氣系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、加熱電路電源、磁場(chǎng)控制裝置等組成。
單晶直徑生長(zhǎng)過程中的質(zhì)量，與溫度、提拉速度和轉(zhuǎn)速，坩堝跟蹤速度和轉(zhuǎn)速，保護(hù)氣體的流速等因素密切相關(guān)。其中，坩堝軸驅(qū)動(dòng)部件作為單晶爐設(shè)備的核心部件之一，要求各種精度都比較高。而冷卻水旋轉(zhuǎn)接頭作為坩堝軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)模塊的重要零部件裝置，安裝于坩堝軸的下部，主要起到冷卻以及旋轉(zhuǎn)密封的作用，實(shí)現(xiàn)固定管道的冷卻水輸送及熱交換后的熱水排出。同時(shí)在設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，若旋轉(zhuǎn)接頭阻力大，則極易影響坩堝軸偏心振動(dòng)，從而降低單晶硅的生產(chǎn)質(zhì)量。可以說，旋轉(zhuǎn)接頭的品質(zhì)高低也成為了單晶爐生產(chǎn)單晶硅品質(zhì)高低不可忽視的關(guān)鍵。
我公司閩旋科技作為資深旋轉(zhuǎn)接頭專業(yè)制造廠家，系國(guó)內(nèi)專注于機(jī)械密封與基礎(chǔ)配套領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)先的高新技術(shù)企業(yè)，一直堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新，針對(duì)單晶爐品質(zhì)需求的不斷提升，結(jié)合其行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)，對(duì)單晶爐用冷卻水旋轉(zhuǎn)接頭進(jìn)行全面優(yōu)化與升級(jí)，研制出了系列適用產(chǎn)品，具體如下：
以上系列單晶爐用冷卻水旋轉(zhuǎn)頭的提升不止是阻力優(yōu)化，更是產(chǎn)品綜合性能的全面提升。通過技術(shù)和工藝的提升，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品“更安全、更可靠、更高效、更環(huán)保”全面升級(jí)，使用效果媲美國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品，不僅僅在單晶爐行業(yè)中，同時(shí)在其他相關(guān)領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用中均取得了很好的效果，為客戶帶來更加安全可靠的使用體驗(yàn)，并創(chuàng)造了更大經(jīng)濟(jì)效益。
每一次創(chuàng)新都是一種突破，每一次變革都是一種責(zé)任。“以專業(yè)奏響中國(guó)旋轉(zhuǎn)密封品牌強(qiáng)音”是閩旋科技不可忘卻的使命，“做強(qiáng)旋轉(zhuǎn)密封技術(shù)，助力產(chǎn)業(yè)高質(zhì)發(fā)展，發(fā)揚(yáng)中國(guó)制造品牌”是我們肩負(fù)的目標(biāo)與責(zé)任，閩旋科技將持續(xù)與國(guó)家戰(zhàn)略、行業(yè)發(fā)展、社會(huì)需求同頻共振，以創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)、以科技為支撐，用高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，與廣大合作伙伴勠力同心、共享共贏，共創(chuàng)更加美好未來。
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